PVD + PECVD دستگاه رسوب خلاء، ساختار Polyhedron PVD، منابع چندگانه رسوب
ویژگی های دستگاه Multi950:
رد پا،
طراحی مدولار استاندارد
قابل انعطاف،
قابل اعتماد،
اتاق هشتم
ساختار دو درب برای دسترسی خوب،
PVD + PECVD پردازش می شود.
ویژگی های طراحی:
1. انعطاف پذیری: کاتد های قوس و اسپری، اتصالات منبع یونی منبع برای تبادل انعطاف پذیر است.
2. چند منظوره: می تواند انواع مختلفی از فلزات پایه و آلیاژها را ذخیره کند؛ پوشش های نوری، پوشش های سخت، پوشش های نرم، فیلم های ترکیبی و فیلم های روانکاری جامد بر روی مواد فلزی و مواد غیر فلزی.
3. طراحی مستقیم: ساختار دو درب، جلو و عقب برای تعمیر و نگهداری آسان.
دستگاه Multi950 سیستم توزیع خلاء چند منظوره برای تحقیق و توسعه است. با بحث نیمه ساله با تیم دانشگاه شانگهای تحت رهبری پروفسور چن، ما در نهایت، طراحی و تنظیمات را برای اجرای برنامه های تحقیق و توسعه خود تایید کردیم. این سیستم قادر به ضبط فیلم DLC شفاف با فرآیند PECVD، پوشش سخت روی ابزار و فیلم نوری با کاتد اسپری است. بر اساس این مفهوم طراحی خلبان ماشین، ما پس از آن 3 سیستم دیگر پوشش داده ایم:
1. پوشش دو لایه پلیت برای وسایل نقلیه الکتریکی همراه - FCEV1213،
2. روکش مستقیم سرامیک مس DPC1215،
3. سیستم اسپری انعطاف پذیر - RTSP1215.
این دستگاه 4 مدل همه با محفظه Octal، عملکرد قابل انعطاف و قابل اعتماد در برنامه های مختلف مورد استفاده قرار می گیرد. فرایندهای پوشش برآورده نیاز به چند لایه مختلف فلزی دارند: آل، Cr، Cu، Au، Ag، Ni، Sn، SS و بسیاری از فلزات غیر فیرومغناطیس؛
به علاوه واحد منبع یون، به طور موثر چسبندگی فیلم ها را بر روی مواد مختلف بستر با عملکرد اکسایش پلاسما و همچنین فرایند PECVD برای ذخیره سازی برخی از لایه های کربن را افزایش می دهد.
Multi950 نقطه عطفی از سیستم های پیشرفته طراحی پوشش برای Royal Tech است. در اینجا، از دانشجویان دانشگاه شانگهای و به ویژه فرایند یگانگ چن سپاسگزاریم، وظیفه خلاق و خودخواهانه آن ارزش های نامحدود و الهام بخش تیم ما است.
در سال 2018، ما همکاری دیگری با Pressor Chen داشتیم که در آن C-60 قرار داشت
روش تبخیر حرارتی Induct. ما به شدت از آقای ییمو یانگ و استاد و مدرس چن در مورد هر پروژه نوآورانه تشکر می کنیم.
Multi950 - مشخصات فنی
شرح | چند 950 |
محفظه رسوب (میلی متر) عرض x عمق x ارتفاع | 1050 x 950 x 1350 |
منابع رسوب | 1 جفت کاتد توفان MF |
1 جفت PECVD | |
8 مجموعه کاتد قوس | |
منبع یون خطی | 1 مجموعه |
منطقه یونانی پلاسما (میلی متر) | φ650 x H750 |
چرخ فلک | 6 x φ300 |
قدرت (کیلو وات) | تقاطع: 1 × 36 |
MF: 1 × 36 | |
PECVD: 1 x36 | |
قوس: 8 × 5 | |
منبع یونی: 1 × 5 | |
سیستم کنترل گاز | MFC: 4 + 1 |
سیستم گرمایش | 500 ℃، با کنترل حرارتی PID |
دریچه سوپاپ خلاء بالا | 2 |
پمپ توربو مولکولی | 2 x 2000L / S |
پمپ ریشه | 1 x 300L / S |
پمپ دیزل روتاری | 1 x 90 m³ / h + 1 × 48 m³ / h |
رد پا (L x W x H) میلیمتر | 3000 * 4000 * 3200 |
قدرت کل (کیلو وات) | 150 |
خدمات و تکنیک های تیم Royal Tech ارائه خدمات مشتری در محل، برای برنامه های خود با ما تماس بگیرید!