رسوب لایه نازک رسانای برد مدار توسط فرآیند کندوپاش PVD DC، آبکاری مس، رسوب دهی با کندوپاش طلا
------ظرفیت بزرگ، طراحی ماژول های انعطاف پذیر، ساخت دقیق.
مزایای فنی:
سیستم DPC-RTAS1215+ Sputtering نسخه ارتقا یافته مدل اصلی ASC1215 است، جدیدترین سیستم چندین مزیت دارد:
فرآیند کارآمدتر:
1. پوشش دو طرفه با طراحی ثابت گردش در دسترس است
2. حداکثر 8 فلنج کاتد مسطح استاندارد برای چندین منبع
3. ظرفیت بزرگ تا 2.2 ㎡ تراشه های سرامیکی در هر چرخه
4. کاملاً اتوماسیون، PLC + صفحه لمسی، سیستم کنترل تک لمسی
هزینه تولید کمتر:
1. مجهز به 2 پمپ مولکولی تعلیق مغناطیسی، زمان شروع سریع، تعمیر و نگهداری رایگان.
2. حداکثر قدرت گرمایش.
3. شکل هشت ضلعی محفظه برای استفاده از فضای بهینه، تا 8 منبع قوس و 4 کاتد کندوپاش برای رسوب سریع پوشش ها
فرآیند DPC- Direct Plating Copper یک فناوری پوشش پیشرفته است که با LED و نیمه هادی ها در صنایع الکترونیک استفاده می شود.یکی از کاربردهای معمول، بستر تابشی سرامیکی است.رسوب فیلم رسانای مس بر روی اکسید آلومینیوم (Al2O3)، بسترهای AlN توسط فناوری کندوپاش خلاء PVD، بیش از همه یک مزیت بزرگ در مقایسه با روشهای تولید سنتی دارد: DBC LTCC HTCC هزینههای تولید بسیار پایینتری دارد.
تیم رویال فناوری با مشتری ما برای توسعه فرآیند DPC با استفاده از فناوری کندوپاش PVD با موفقیت همکاری کرد.
کاربردهای DPC:
HBLED
بسترهای سلول های متمرکز کننده خورشیدی
بسته بندی نیمه هادی قدرت شامل کنترل موتور خودرو
الکترونیک مدیریت توان خودروهای هیبریدی و الکتریکی
بسته های RF
دستگاه های مایکروویو
مشخصات فنی
شرح | DPC-RTAS1215+ |
محفظه - اتاقارتفاع (میلی متر) | 1500 |
قطر محفظه (میلی متر) | φ1200 |
فلنج نصب کاتدهای کندوپاش | 4 |
فلنج نصب منبع یون | 1 |
فلنج نصب کاتد قوس | 8 |
ماهواره ها (میلی متر) | 16 × 150 |
توان بایاس پالسی (KW) | 36 |
قدرت کندوپاش (KW) | DC36 + MF36 |
قدرت قوس الکتریکی (KW) | 8 × 5 |
قدرت منبع یون (KW) | 5 |
قدرت گرمایش (KW) | 36 |
ارتفاع پوشش موثر (میلی متر) | 1020 |
پمپ مولکولی سوسپانسیون مغناطیسی | 2 x 3300 L/S |
پمپ ریشه | 1 × 1000 متر³ در ساعت |
پمپ پره دوار | 1 x 300 m³/h |
پمپ نگهدارنده | 1 x60 متر مکعب در ساعت |
ظرفیت | 2.2㎡ |
منطقه نصب (L x W x H) میلی متر | 4200*6000*3500 |
سیستم عامل HMI + صفحه نمایش لمسی
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید، رویال فناوری مفتخر است که راه حل های پوشش کامل را به شما ارائه دهد.